Ein System zur Atomlagenabscheidung (ALD)
Riferimento SIMAP: 51ff98c0-f76f-4341-b842-a436690ce55f
Data di pubblicazione
15.11.2024
Committente
EPFL-Scientific Equipment
Aggiudicatario
Persone coinvolte
Aggiudicatario · Aveeco GmbH